Ulvac
LsaerPIT-M2
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 열유체장비 > 달리 분류되지 않는 열유체장비
2014-12-16
129,158,927원
고정형
시간별
20,000원
○ 레이저 광을 주기적으로 변조해서 전달해 주었을 때의, 가열 영역에서 어느 거리만큼 벗어난 위치에 있어서의 온도응답의 진폭 또 위상차로부터 열확산율을 구하는 방법.
○ 탄소 필러의 우수한 열전도 특성을 이용한 필름 및 방열시트의 면방향 열전도성 평가가 가능한 장비임.
○ 3μm 이상의 필름의 면 방향 (in-plane) 열전도도 측정이 가능며 증착된 박막의 경우 100 nm부터 면 방향 열전도도 측정이 가능함.
○ AC heat source: Laser diode (wavelength 690 nm, output 30 mW)
○ Irradiating position: ±4000 im, in steps of 1 im
○ Frequency: 0.01 to 10 Hz
○ Thermal diffusivity measurement accuracy: ±5 % (thermal diffusivity of a stand-alone sheet sample)
○ Sample size: 30 mm long, 2.5 to 5 mm wide
: 3 to 500 im thick (stand-alone sheet sample)
: 100 nm to 10 im (thin film on substrate)
○ Thermocouple: E type thermocouple (0.1 mm dia.)
○ Atmosphere: Vacuum (below 0.01 Pa)
○ Pumping port: Quick coupling (NW25)
○ Temperature: room temperature to 200oC