NanoFilm
M23971
10년
부대장비(부가장치) (주장비:적외선 광학금형 DLC 코팅기)
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2015-04-14
258,061,022원
기관의뢰
고정형
건별
3,000,000원
코팅막의 내구성 개선을 위한 중간층 코팅
적외선 광학렌즈의 내구성 박막 및 중간층 코팅
박막 균일도 (Uniformity : ± 10%)
재현성 (Repeatability : ± 10%)
기구축 장비인 FCVA 코팅법과 스퍼터링이 동일 챔버에서 순차적으로 진행가능
코팅방식 : 언밸런스드 마그네트론 스퍼터링
최대출력 : RF 600 W
유효코팅 범위 : 152 mm
RF 파워 공급장치 1개
RF 매칭박스 1개
4인치 UBM 스퍼터 소스 1개