(주)비츠로테크
개발장비
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 달리 분류되지 않는 기계가공 시험장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2015-03-02
152,900,000원
원
본 장비는 포스코 광양제철소의 Smart 표면처리 강판의 개발을 위한 인라인 장치인 WPL라인에 코팅전단계인 Plasma 전처리공정에 적용하는 이온건으로서, 고진공하에서 고속으로 진행하는 광폭의 강판표면의 잔류 이물질 및 산화층을 제거하는 이온빔 인출장치이다.
- 장치 제원 : 빔 폭 1500mm, 빔에너지 20keV, 빔전류 1A, 아르곤빔 인출 버켓타입이온원
- 장치 구성 : 전자방출부 + 플라즈마 발생부 + 이온빔 인출부 + 어뎁터