나노시스템
NV-1000
9년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 광파발생/측정장비 > 달리 분류되지 않는 광파발생/측정장비
2013-05-06
56,900,000원
기관의뢰
고정형
건별
8,000원
다양한 파장을 갖는 백색광을 기준면과 샘플표면에 조사하여, 반사되어 돌아온 광이 상호 중첩되어, 보강간섭과 상쇄간섭이 발생하도록 한다. 이런 조건에서, 피에조 이송기를 이용하여 샘플과의 거리를 변경시키면서, 보강간섭이 일어나는 점을 계측하여 이미지를 형성하는 장비
- interferometric objective : single lens available
- scan range : 0~180um(option 270um)
- vertical resolution : WSI : < 0.5nm / PSI : < 0.1nm
- stage tilt : ±3
- Z stroke : 30mm(manual)
- workpiece stage : 50 X 50mm(manual)