TESCAN
TESCAN SEM Model VEGA 3 SBH, BEI
11년
주장비
교육
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2014-10-15
168,000,000원
고정형
건별
40,000원
테스칸 주사 전자 현미경 모델 VEGA 3 SBH는 Gun Electron Source (전자원)으로부터 인
가된 일차 전자가 시료에 조사되면서 이때 발생되는 이차 전자 (SE) 혹은 후방산란전자
(BSE) 등 다양한 전자를 이용하여 시료 표면의 미세한 구조를 확대, 관찰하는 기기로서 일
반 광학 현미경과 비교하여 분해능과 집점심도가 매우 우수하여 고배율에서의 시료 표면 관
찰은 물론 조성 등을 관찰함으로서 시료의 특성, 표면 구조 및 결합을 관찰하는 데 사용되
는 기기입니다. VEGA 3 SBH는 최저 배율 3배에서 최고 100만배까지 1배 단위로 시료를
확대하여 더욱 미세하게 관찰함으로서 정확한 분석 업무가 가능하며, 경통에 IML 렌즈가 있
어서 TEM (투과전자현미경)과 같은 Beam tilt 등의 기능이 가능합니다. 그리고 다양한 검출
기 및 주변기기를 장착하여 응용분야를 확장할 수 있습니다. 예를 들어, 시료 전처리 장비
를 부착함으로서 부도체 시료 표면을 도전체 시료로 코팅하여 고배율 10만배 이상의 배율
을 관찰할 수 있으며 또한 시료 X선 분광분석기를 장착함으로서 짧은 시간에 미세영역의
원소 조성 성분 (정량 및 정성분석)이 가능합니다.
1. 주사전자현미경 (VEGA 3 SBH) 특장점
1) 분해능 3.0nm 이상의 고분해능 이미지 구현으로 광학현미경에서 흐릿하게 보이던 표면
구조의 정밀한 이미지 관찰이 가능합니다.
2) SE, BSE Detector : YAG Crystal 타입의 SEI 및 BEI(3.5nm) Detector 장착으로 빠른
검출속도를 보여주며 YAG Crystal 타입의 Lift time은 전자현미경을 10년간 처음과 같은 Signal sensitivity을 유지하게 해주는 장점을 지니고 있습니다. 또한, BEI Detector의 0.1% Automic resolution 으로 재료의 정밀도 높은 조성상 이미지가 분석 가능합니다.
3) Intermediate Lens : TEM과 같은 컬럼 구조의 IML 사용으로, Field mode, Depth mode 등의 다양한 모드 응용으로 시료의 요철 부위, 시료의 관심 있는 부위를 쉽게 찾아 분석이 가능합니다. 또한 외부 OL Aperture 교환 없이 IML Lens로 Beam Current을 자동 조절하여 SEM 이미지 및 EDS 성분 분석이 가능함으로서 쉽고 빠른 장비 운영과 우수한 어플리케이션 데이터를 얻을 수 있는 장점을 가지고 있습니다.
*Depth mode : 중간 배율 정도의 상에서 초점거리가 상당히 차이 (0~10mm 높낮이 차이)가
나도 이를 초점을 맞추어 관찰하는 모드 *
4) Maginification : x3 -1,000,000x 최소배율 3배로 stage 전체 관찰이 가능하기 때문에
원하는 샘플지점을 빠르고 쉽게 찾아 분석 가능합니다.
5) Frame Store 8,192 x 8,192 : Digital Pixel Size가 클수록 시료의 더욱 많은 정보 관찰
가능합니다. 또한 저장된 Image의 Zoom up시 Image의 Pixel의 파손이 적은상태의 좋은
Image 관찰 가능합니다.
6) No water cooling : Cooling water를 사용하지 않음으로 물의 결로 현상에 의한 트러블을 방지하며, 물과 Dry N2 Gas의 소비가 없음으로(비용절감) 전자현미경 사용에 있어서 매우
경제적인 장점을 가졌습니다.
2. 스퍼터 코터 SC7620
전자현미경에서 100,000배 이상의 배율을 관찰하기 위하여 Sample 표면을 도전체로 만들
어 관찰 할 수 있도록 하는 Sample 전처리용 장비 입니다. 즉, 부도체 시료 표면에 미세한
Gold 등의 도전체 시료로 Coating하여 High mag 100,000이상의 배율을 관찰 할 수 있으
며 또한, EDS 등의 특성 X-Ray의 정성, 정량, 정량, 분석을 할 수 있게 하는 전자현미경의
Sample 전처리 장비입니다.
3. 원소분석장비 IXRF EDS
금속, 전자, 물리, 생물등 원소의 정성 및 정량분석을 필요로 하는 모든 분야에 필수적인 장
치로 전자현미경의 시료실에 검출기를 부착하여 사용되는 미소영역 분광분석장치입니다.
IXRF EDS 분해능은 10mm2, 126eV이며, Automated Particle analysis, X-ray mapping,
X-ray line scan, image stitching 등 다양한 Software 기능을 가지고 있습니다. 특히 자동
화된 Robostage를 통해 쉽고 빠른 분석을 가능케 합니다. VEGA 3 SBH와 부착 시 SEM
및 EDS 각각의 PC 및 Mouse 등을 1PC로 control할 수 있는 편리성을 가지고 있습니다.
*EDS 장비 특장점 요약 : 정성&정량 분석, Mapping, Multi point analysis, Automated
particle analysis, Smart Map Spectrum Reconstruction, Fast map & Fast Line Scan*