맞춤추천
공동활용장비
- 장비찾기
- 공동활용장비
- Inductively Coupled Plasma Reactive-ion Etching system
- 유도결합플라즈마반응성이온식각장비
- i-Tube No. 1405-C-0014
- NTIS No NFEC-2014-05-188760
-
설치기관
디지털헬스케어연구센터
(재단법인구미전자정보기술원)
- 주소 경상북도 구미시 구미대로 350-27
- 담당자 성상근 (T. )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
티티엘
-
모델 명
FabStar
내용연수9년
-
구분
주장비
용도시험
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
-
취득일
2014-05-21
취득금액299,438,840원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료52,000원
장비설명
미세 패터닝 기반 전자 의료기기 (Microfluidic device & system, Bio chip, Lab-on-a chip)를 제작하기 위한 유도 결합형 플라즈마 반응성 이온식각장비
장비 구성 및 성능
1)공정챔버
기판 이송/반송 방식 : 로드락 챔버를 이용한 자동 이송/반송 방식
2)ICP소스
Top plate에 플라즈마 진단용 port
3)기판용 chuck
기판 크기 및 개수 : 8인치, 1장
Chiller(기판 냉각용) : 온도 범위 : 3~40도
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
Copyrightⓒ 2020 KIAT All rights reserved.
