Kleindiek
MM4-EM
1년
부대장비(부가장치) (주장비:초고분해능 주사전자현미경)
분석
전기·전자장비 > 측정시험장비 > 전압/전류/전력측정시험장비
2015-02-17
401,500,000원
이동형
기타
0원
1) 본 장비는 전자현미경에서 샘플의 나노 조작과 전기적 특성을 측정 평가하는 장비이다
2) 본 장비는 진공 챔버 내부에서 매니퓨레이터가 나노스케일 단위의 3축 동작 제어가 가능하여야 한다
3) 본 장비는 매니퓨레이터 장치가 SEM 의 진공챔버 도어 와 LOADLOCK을 통해서 진공 챔버 샘플 스테이지에 장착 할 수 있어야 한다.
4) 본 장비는 최대 4개의 매니퓨레이터를 장착할 수 있어야 하며, 각각의 매니퓨레이터에 장착되는 프로브 팁이 전도성 샘플의 표면에 접촉할 경우 접촉 여부를 알려주는 장치를 포함한다
5) 본 장비는 샘플 표면의 저전류를 측정 할 수 있어야 한다
6) 본 장비는 직경 100nm 이하 크기의 프로브 팁을 사용할 수 있어야 한다
7) 본 장비는 샘플을 X, Y 방향으로 움직일 수 잇는 초소형 스테이지를 포함한다
1. 매니퓨레이터 4대
2. 초소형 XY 스테이지 1대
3. 저전류측정장치 4대
4. 팁근접안전장치 4대
5. 100nm 프로브 팁 50개
6. Shuttle platform 1대
7. 시스템 랙 1대
8. 마운팅 아답터 플레이터, 플랜지 각 1대