-구성-

1. 주장비인 전자빔 PVD 공정에서 요구되는 공정온도를 확보하기 위한 가열장치임.

2. 기존 증착장비에서 사용되는 증착용 E-beam gun의 산란방지 및 균일성 확보와 구동편의를 위해 Heater module을 분리하고 장착되어지는 것으로 주 장비와의 호환성 확보, 산란방지 shield 설치 및 챔버 손상방지를 위한 내부보강.

3. 가열용 리니어 전자총은 회소 길이 300mm의 기판 가열 및 동 구간내의 소규모 복수 개 시편도 동시에 균일하게 가열할 수 있도록 리본형 전자빔 필라멘트, 스캔구동 및 제어부 및 관련 프로그램 탑재.



-성능-

1. 필라멘트 가열을 통해 발생된 전자의 다 단계의 가속모듈을 통해 최대 100kw의 전자빔 출력 확보.

2. 다축의 빔제어 scanning system을 통하여 전자빔의 집속과 확산이 가능하도록 하여 spot 또는 spread 형태의 전자빔 형성.

3. Program interface를 통해 가열대상물에 대한 조사범위, 시간, 위치 등 제어.

4. 주 장비인 증착용 전자빔 시스템 program 호환성 확보를 통해 전체 증착 process제어.