JEOL
INCA Wave
10년
옵션/액세서리(보조장치) (주장비:주사전자현미경)
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2011-03-09
163,014,000원
기관의뢰
고정형
건별
0원
전자선이 시료면 위를 주사(scanning)할 때 시료에서 발생되는 여러 가지 신호 중 그 발생확률이 가장 많은 이차전자(secondary electron) 또는 반사전자(back scattered electron)를 검출하는 것으로 대상 시료를 관찰한다.
본 장비는 회로, 반도체부품, 세라믹 금속, powder 등 재료 및 제품의 미세구조 분석, 파단면 고장분석 등에 쓰이며 EDS를 이용하여 재료의 구성원소 분포나 정성 분석이 가능