○ 성능
- 유효증착영역 : Φ800mm X H 1400mm
- 사용온도 : 최대 1800 ℃
- 승온속도 ; 10℃/min
- 공정가스 ; MTS(CH3SiCl3), H2, Ar, N2, CH4
- 원료가스 공급방식 : Liquid(MTS) Vaporizer System (MTS 200g/min 공급, 2set)
- 공정압력 범위 : 1 ~ 760 torr
- 진공배기능력 : 30분 이내에 5x10-3torr까지 도달
작업압력 1 torr까지 제어
- 피처리물 적재량 : 최대 300kg