(주)에너진
TG-CVI350
11년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 열유체장비 > 달리 분류되지 않는 열유체장비
2013-07-31
58,982,000원
고정형
기타
0원
본 장비는 복합소재에 SiC를 함침 시키기 위한 장비이다. 따라서 MTS를 사용하기 위하여 LM-MFC와 증발기(Vaporizer)설치되어있음. 발열원은 유도가열방식으로 챔버(쿼츠챔버)내부에 그라파이트 튜브가 발열체로 작용함. 또한 공정중에 발생하는 HCl가스를 처리하기 위한 스크러버와 진공를 유지하기 위한 수봉식 펌프 설치되어 있음.
. Work zone : - φ350 X 500㎜ (H),
. 사용온도 - 최대 1900℃, - 상용 1300℃
. 사용 가스(Gas Delivery) : - MTS, H2 가스 : CVI 반응용 - Cl2 : 제품 고순도 처리용 - N2, Ar : 초기 Furnace 퍼지 및 공정중 Chamber 보호용, 라인 퍼지용
.히팅방식 : Induction Heating(Quartz Tube 외부에 유도코일 배치)
.배출시스템 : Rotary Pump + Mechanical Booster Pump + Water Ring Pump