Thermo Fisher Scientific
Sigma Probe
10년
주장비
분석
화합물 전처리·분석장비 > 분광분석장비 > 달리 분류되지 않는 분광분석장비
2015-04-24
806,600,363원
고정형
시간별
50,000원
1) 시료 처리실: 표준물질의 증착, 오염된 고체표면의 컷팅, 온도제어, 가스처리 등
(2) 측정실 : 시료를 여기시키는 전원, 시료로부터 방출되는 광전자의 에너지를 분별하는 에너지 분석기, 전자검출기로 구성
본 장치는 X선을 시료에 조사 시 광전자가 방출되는 현상을 이용하여 광전자 운동에너지를 분석함으로써 금속, 촉매, 반도체소자재료, 세라믹스, 박막, 고분자피막 등시료표면층(Surface layer, 약 50-100micron)에 분포되어 있는 원소를 정성 및 정량분석함.
- Type : Spherical sector analyzer 180 degree
- Mean radius : 275 mm
- Detector : Multi channeltron detector UHV Analysis Chamber
- UHV vacuum : 5 x 10-10 mba MonochromatorX-Ray source (Mg/Al)
- Type : Microfocused monochromator source
- Electron gun : 15kV Flood gun
- Low energy for charge compensation Ion source
- Energy range : 0.1KeV to 4KeV, continuously variable
- Max. beam current density : 3mA/cm2 or equivalent
- Min. beam diameter : 200 ㎛ or equivalent
- REELS Option : Hydrogen detection, Carbon status confirmation, etc
- ISS (Ion Scattering Spectroscopy) Standard