Keyence
VK-X210
5년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 광파발생/측정장비 > 달리 분류되지 않는 광파발생/측정장비
2014-08-28
180,312,190원
기관의뢰
고정형
시간별
37,000원
Confocal 형태의 현미경으로 3차원적인 표면을 관찰하고 FE-SEM을 이용한 미립자 분석을 진행함
- 프로파일 계측, 거칠기 계측, 3차원 계측 등 다양한 계측 환경을 제공함
- SEM급의 선명도, 고행상도, 초심도를 제공하며 관찰 시야 전체에 초점을 맞춘 초심도 화상으로 관찰가능 함
- 샘플의 3차원 계측의 계측 부위를 2D 화상과 3D 화상 모두 설정가능하며 두 화상에서 계측 부위가 리얼타임으로 표시되므로 계측하고 싶은 부위를 계측할 수 있음
1. Measurement Unit
1) Monitor Magnification power : 24,000x ~ 200x
2) Objective lenses : (10x, 20x, 50x, 150x)
* 10x / NA=0.3, WD=16.5mm
* 20x / NA=0.46, WD=3.1mm
* 50x / NA=0.95, WD=0.35mm
* 150x / NA=0.95, WD=0.2mm
3) Field of view : 1,350 × 1,012㎛ ~ 12 × 9㎛
4) Optical system for observation and measurement : Confocal optical system using a pinhole
5) Z drive :
*Driving by stepping motor
*Display resolution : 0.0005㎛
*Measurement range : 7mm
*Repeat accuracy(δ) : 0.0012㎛
6) Width measurement :
*Display resolution : 0.001㎛
*Repeat accuracy(3δ) : 0.02㎛
7) Display resolution : 2048x1536, 1024 × 768, 1024x64
8) Frame memory :
*For images(monochrome) : 1024 × 768 × 16bit
*For images(color) : 8bit for RGB each
*For height measurement : 1024 × 768 × 24bit
9) Frame rate(Hz) :
*Sutface scan : 4 ~ 120Hz
*Line scan : 7900Hz
10) Scan type :
*Horizontal - Resonant scanner, Vertical - Galvanic scanner
11) Optical zoom : 1 to 8×
12) Auto function : Auto focus, Auto gain, Auto shutter
13) Laser light source for measurement :
*Wavelength : Violet laser 408nm
*Maximum output : 0.9mW *Laser class : JIS Class2
14) Detection : PMT
15) Light source for optical measurement :
*Lamp : 100w halogen *Operating life : 1000 hours(Average)
*Color temperature : 3100K
16) Color camera for optical observation :
*Image pickup device : 1/3 inch color CCD image sensor
*Adjustment : Gain/shutter speed
*White balance : AUTO/MANUAL/PUSHSET
17) Data processing : PC (OS : Windows 7)
18) Power supply rating :
*Power supply voltage : AC100 ~ 240V, 50/60Hz
*Current consumption : 450 VA Max