에스엔텍
자체제작
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2013-04-30
939,023,540원
고정형
건별
0원
n-type 및 p-type Si 박막 태양전지 제조
투명전극박막 제조
in-situ 공정을 위한 Glove box
이송모듈: 로드락 챔버, 트랜스퍼 챔버 및 기판 이송용 로봇
공정챔버: sputter 챔버, PECVD#1챔버(P-type a-si 공정용),