(주)디씨엔
개발장비
11년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2013-02-28
84,500,000원
기관의뢰
고정형
시간별
78,000원
- 본 장비는 Glass 및 Flexible Substrate(PET, P.I, Metal foil 등) 상부에 기능성 인쇄 소재(Polymer & Metal ink)를 전면 균일 코팅 및 스트라이프 패턴 균일 코팅이 가능한 장비로, 기능성 인쇄 소재의 균일 코팅이 가능한 Roll-to-Plate/Roll-to-Roll type의 슬롯 코팅 장비 개발, 인쇄전자 디바이스 및 공정 개발, 재료 개발용
1. Substrate
- (370 × 470)㎜ , 두께:0.1~2㎜
2. Material
- Glass : 두께 0.5~1mm
- Flexible Film : PET, PEN, PI, Metal foil, 두께 0.05~1mm
3. Coating Speed
- 50 ~ 300 ㎜/sec(max.)
- Motor 진직도 : 2㎛/100㎜
4. Coating Gap
- 50㎛ ~ 3 ㎜이내
5. Coating Gap 측정센서
- 측정(조절)분해능 : 1㎛
- 측정범위 : 50㎛ ~ 3 ㎜이내
6. 코팅 방식
- Slot Die : 전면코팅 & 스트라이프 패턴 코팅
- 코팅 균질도 : 코팅폭방향 ±5%이내, 기판진행방향 ±5%이내
7. 코팅 펌프
- Syringe pump
- Syringe 용량 : 5~125 ㎖
- 펌프 제어 : 자동
8. 잉크 공급 방식
- Syringe 교체 방식
9. Dry 방식
- N.I.R Lamp : ~ 400℃
10. Coating Stage
- Vacuum Plate