(주)에스엠텍
SM-LMM-9100
5년
부대장비(부가장치) (주장비:다이오드 펌핑 고체 자외선 레이저)
시험
광학·전자 영상장비 > 달리 분류되지 않는 광학·전자 영상장비 >
2014-08-21
258,763,636원
기관의뢰
고정형
시간별
57,000원
(1) 레이저로부터 발진된 빔은 광학계(beam delivery system)를 거쳐 스캐너의 입사단으로 들어가는 경로로 최적 설계
(2) 샘플 가공시 멈춤없이 연속적인 가공을 위하여 스테이지와 스캐너가 동기화된 고속 2D on the fly (IOFV) 기법이 적용
(3) X-Y stage는 가공 패턴의 최소 경로를 지나고 정밀 패턴의 실제 가공은 scanner에 의해 이루어짐.
(4) 속도 변화에 따른 엔코더 위치를 기반으로 원하는 위치에서 펄스를 트리거하는 기능탑재
(5) 동일한 레이저 fluence로 시료 가공이 가능
II. 장비의 구성 (Configurations of Goods)
1. Beam delivery system .1 set
(1) Variable beam expander
(2) Motorized beam attenuator
(3) Mechanical beam shutter
(4) Reflection mirror
(5) Scanner
(6) Beam path selection cylinder
2. Microscope objective system 1 set
(1) Micro-processing using the 266nm objective lens
3. Scanner system 1 set
(1) X-Y-θ stage stacked on the granite
(2) Infinite scan area using the 2D on the fly (synchronized X-Y stage)
(3) Telecentric f-θ lens
(4) High marking speed and large clear aperture
4. Motion system 1 set
(1) X-Y-θ stage stacked on the granite
(2) Z stage attached to the granite bridge
(3) Infinite field of view (IFOV) by synchronization of X-Y stage and A-B axis scanner (2D on the fly processing, X-A and Y-B synchronized)
(4) Position synchronized output of laser beam pulse
(5) Motion system installed on the pneumatic vibration isolated optical table
5. Vision system 1 set
(1) Alignment check with align mark
(2) Monitoring during laser processing (co-axial vision)
(3) CCD and LED illumination
(4) Laser type auto-focus
6. Suction system 1 set
(1) Suction of hum and particles
(2) Air curtain for protection of focal lens
7. Working table 1 ea
(1) Vaccum to fix the workpiece
8. Industrial PC and monitor 1 set
9. Control software 1 set
(1) Control the X-Y-Z stage and the Galvanomotor scanner
(2) Generation of G-code
(3) Control the 2D on the fly (IFOV)
(4) Control the position synchronized output
(5) Exclusive GUI, etc.
10. Safety tools (Accessories)
(1) Goggle for far-IR laser 1 ea
(2) system housing 1 set