에스엠텍
모델명 없음
11년
부대장비(부가장치) (주장비:펨토초 재생증폭기)
생산
기계가공·시험장비 > 자동화/이송장비 > 위치제어장비
2015-02-23
199,472,210원
기관의뢰
고정형
시간별
[Hr] 70,000원
초정밀 이송 스테이지 시스템은 펨토초 레이저를 공급원으로 하여 반도체, 전자, 기계, 항공, 우주 등의 첨단 산업 분야에서 요구되는 마이크로 크기의 부품의 가공 및 기계 가공으로 힘든 비접촉 가공으로 수 마이크로의 선폭으로 재료를 절단, 드릴링, 스크라이빙, 용융 하는 가공 장비임
- 반사 미러를 통하여 XYZ 스테이지와 포커싱 헤드를 통하여 수 마이크로의 선폭으로 가공할 수 있도록 제어되며, 포커싱 헤드는 가공부의 확인을 위한 동축 CCD를 장착하여 실시간으로 가공부를 표시함.
- XY 스테이지는 마이크로 정밀도로 이송 되며 Z 스테이지는 포커싱 헤드를 고정하여 레이저 광학계를 구성함.