Olympus
OLS4100
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 광학현미경
2014-07-02
134,245,320원
기관의뢰
고정형
시간별
[Hr] 33,000원
기존의 형광현미경과는 달리 Laser 광원과 Pinhole을 이용하고 사람 눈보다 더욱 민감한 Detector를 이용하여 고해상도 3D 관측 및 실시간으로 측정을 위한 레이저 현미경으로 비접촉 비파괴 방식으로 높은 정밀도 측정 및 거칠기 분석이 가능합니다.
본 장비는 Motorized stage를 기본으로 사용하여 조이스틱을 통한 정밀 이동을 할 수 있으며 광학 및 레이저 렌즈를 통하여 원하는 층의 표면을 스캔 후 이미지화하여 모니터에 나타낼 수 있습니다. 비접촉 비파괴 방식으로 높은 정밀도 측정이 가능하며 다양한 정보(거리측정 선폭측정 단차측정 기하측정 면적 체적 표면적 측정 조도 2D 3D image tiling)의 취득이 가능합니다.
1. 레이저 관찰부
- 광원 : 405nm 반도체 레이저 / 센터 : Photomultiplier
- Optical Zoom : 1x to 8x(pitch:0.1 for 1x to 2x 1.0 for 2x to 8x)
2. 컬러 관찰부
-광원 : 백색LED / 센서 : 1/1.8inch 2백만 화소 short plate CCD
- 1x to 8x의 디지털 줌(pitch : 0.1 for 1x to 2x 1.0 for 2x to 8x)
3. Revolving Nosepiece : Motorized 6-position revolving nosepiece
4. 렌즈
-일반 관찰용 렌즈(Plan semi-apochromatic lenses) : 5x and 10x
-레이저 전용 렌즈(Plan apochromatic lenses) : 20x 50x and 100x
- Long Working Distance 렌즈 : 20x 50x 100x
5. 배율 : 최저 108배 ~ 최고 17280배
6. Image resolution: 4096 x 4096 ~ 1024 x 128 7. 측정 가능 데이터 : 거리측정 선폭측정 단차측정 기하측정 면적 체적 표면적 측정 조도 2D 3D image tiling