GATAN
ALTO2500
5년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2012-12-13
101,506,250원
고정형
21,147원
1. Cryo transfer chamber for FE-SEM Column unit 1 set 2. Coating units 1 set 3. Vacuum transfer device 1 set 4. Rapid freezing station 1 set 5. SEM cold stage module 1 set 6. System controller 1 set
SEM에서 생체나 수분을 함유한 다양한 시료를 보는 것은 아주 어려우며 이를 가능 하도록 지원하여 주는 장비가 CRYO Transfer system임. SEM과 동일한 방식의 Pre-Chamber를 SEM에 연결시켜 놓고 그 안에서 SEM으로 보기위한 샘플작업이 동시에 가능하도록 콤팩트한 디자인으로 제공함. 프리챔버에서 얼려진 샘플을 Airlock Transfer 장치로 pre-chamber에 장착을 시키면 자체에서 온도를 유지하도록 냉각 스테이지가 가동되며 원하는 부분을 보기위한 작업을 행함. Knife나 Pin을 통하여 Fracturing 작업을하고 Etching 및 Coating 작업을 완료하면 곧바로 SEM chamber에 Direct로 들어 갈수 있도록 되어 있어서 저온시편에 따른Contamination이 없고 쉽고 콤팩트하게 작업을 진행할 수 있음.