Hitachi
SU-8010 & X-max50
주장비
분석
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2012-05-15
590,000,000원
고정형
원
- SEM : Hitachi SU8010
- EDX 장착
- 고분해능 FE-SEM
- EDX장착으로 원소 분석 가능
FE-Gun Thermal 방식으로 항상 Tip을 가열 상태로 유지(Tip 수명 단축)
항상 고온 상태로 전자를 방출하므로 Tip 오염 없이 전자 빔이 일정해 성분 분석에 유리
Stage 5축 Motot 구동 방식으로 운용
CDangle측정 데이터 정보 입력 가능
EDS detector가 부착되어 있어 성분 분석 가능