룩스이엔지
LEIX-200
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2012-12-13
299,438,840원
고정형
시간별
67,000원
본 장비는 결정질 태양전지에서 도핑 공정과 열처리 공정 후 전,후면으로 형성된 에미터층을 선택적으로 레이져를 이용하여 간편하게 분리하여(주로 태양전지 소자의 EDGE 면) 전극을 분리하여 태양전지의 효율을 극대화 하는 장비임
1. Beam 중심파장 532nm, diameter <1mm
2. Repetition rate : Single shot up to 150kHz
3. Pulse width : < 9ns @ 20kHz
4. Focal length : ~ 300mm
5. Depth of focus : > ±800um