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- i-Tube No. 1107-C-0204
- NTIS No NFEC-2011-09-148986
-
설치기관
스마트융합기술센터
((재)전북테크노파크)
- 주소 전라북도 익산시 함열읍 익산대로78길 13-6,(다송리)
- 담당자 권영만 (T. 063-720-3711 )
- 매뉴얼
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온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
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제작사
알파플러스
-
모델 명
개발장비
내용연수10년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
-
취득일
2011-07-08
취득금액392,595,100원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료75,000원
장비설명
엑스선을 흡수하여 가시광선으로 변환시켜주는 섬광체 물질(Cesium Iodide, Tallium 등)에 열을 가하여 기판에 증착시킴으로써 섬광체 플레이트를 제작하기 위한 증착 장비
장비 구성 및 성능
-Deposition material:CsI:Tl -Max. substrate size(mm):305×250 -Substrate material:Glass, Silicon, Metal, Carbon -Substrate thickness(mm):0.5~5 -Deposition thickness(um):10~600 -Thickness uniformity:<±5%
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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