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- i-Tube No. 1102-C-0235
- NTIS No NFEC-2011-02-144767
-
설치기관
스마트융합기술센터
((재)전북테크노파크)
- 주소 전라북도 익산시 함열읍 익산대로78길 13-6,(다송리)
- 담당자 권영만 (T. 063-720-3711 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
대기하이텍
-
모델 명
개발장비
내용연수10년
-
구분
부대장비(부가장치) (주장비:섬광체 증착장비)
용도생산
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
-
취득일
2011-02-14
취득금액126,436,840원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
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사용료 형태
시간별
장비 사용료39,000원
장비설명
가시광선의 반사율이 높은 금속재료인 Al, Cr 등을 진공상태에서전기를 가하여 가열하고 금속을 용융시켜 웨이퍼 기판에 증착시키는 장비로 반도체 공정 중 금속박막을 증착시킬 때 사용되는 장비
장비 구성 및 성능
-Deposition material:Al, Cr -Max. substrate size(mm):300×300 -Deposition thickness(nm):0.1~200 -Deposition thickness deviation:≥±5%
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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