SNTEC
개발장비
12년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2012-06-22
341,000,000원
기관의뢰
고정형
시간별
127,000원
eco-인쇄전자 소자의 시제품 제작을 위한 금속 전극 및 투명 전도막(TCO), 산화물, 유기물 코팅을 통한 유연인쇄전자 소자 제작 및 기술 개발
유연기판상에 다양한 기능성 재료를 이용한 스마트 라벨의 디스플레이부, Signboard, 인쇄형 태양전지 소자 제작을 위한 투명 전도층 및 절연층, 유기물층 등의 layer 코팅 및 개발
Substrate Size:50x50mm and 100x100mm
1. Outline
1) This specification describes thin film coating system to from signboard and thin film solar cell, TCO of Thin film battery and Touch panel using Organic & Inorganic materials.
2) This system offer continuos operation by realizing thin film coating process to complete a fully/semi automated process line.
① Organic coating system, organic coating region and inorganic coating region is separated, and then can be mounted in a glove box.
3) Applicable substrate size is up to based 4 inch(thickness : 0.55~1.1㎜) on Organic coating system
① Organic coating system, small TEG glass(25㎜×25㎜) and Flexible film(50㎜×50㎜) can be applied with specially designed substrate tray
4) Applicable substrate size is up to 100㎜(±0.2)×100㎜(±0.2) (thickness: 0.55~2.8㎜) on Inorganic coating system
① Inorganic coating system, Flexible film(a kind of PET, PEN, P.I. metal foil) can be applied with specially designed substrate tray
② Inorganic coating system has loading/unloading chamber