태산정밀
모델명없음
10년
부대장비(부가장치) (주장비:미세패턴용 어셈블러)
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2012-04-16
30,800,000원
기관의뢰
고정형
시간별
60,000원
100마이크로이하의 미세한 패턴이 들어간 기판을 정밀하게 합착할때 어셈블러에서 실런트가 도포된 기판을 UV로 노광하여 경화하고 상판 하판을 가합착하기 위한 장비이다. 셀 공정에서 상판과 하판을 정밀하게 합착한 후 UV로 노광시켜 경화시키는 공정장비이다.
1) Lamp : 1kw Mercury short arc lamp 2) Power supply : 1 kw 3) Beam size : 9.25 inch X 9.25 inch