마이다스시스템
MDA60MS
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2012-04-16
98,000,000원
기관의뢰
고정형
시간별
60,000원
디스플레이 제조공정에서 100마이크로미터 이하의 미세한 패턴이 있는 상판과 하판의 정밀한 합착공정에서 사용되는 공정장비이다. 셀 공정에서 상판과 하판을 정밀하게 합착하는 장비로서 10μm 수준의 미세패턴 공정에서도 적용이 가능하다.
1) Semi Auto System - Auto exposure, Leveling and Z axis Stage motion - Manual loading ,Unloading & Alignment 2) PC & PLC Control 3) Beam size : 9.25 in. x 9.25 in.