플러스텍(페업)
없음
1년
부대장비(부가장치) (주장비:전자 빔 증착장치)
기타
기계가공·시험장비 > 열유체장비 > 달리 분류되지 않는 열유체장비
2012-04-09
49,500,000원
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
2,063원
다층막 증착을 위한 프로그램 업그레이드 및 2인치 돔에서 4인치 장착할 수 있는 돔 제작
다층막 공정에 대한 자동화 프로그램 입력 및 관련 툴에 대한 업그레이드
2,4인치 겸용 돔&N&T&I&S&1. System are available with a wide range of options covering from fully automated computer control to manual operation.
2. PC control software to maintain stable system condition.
3. Fully Automatic control and process based on PC Window based software.
4. Rotation speed is adjustable (0~30rpm)
5. Thickness Monitoring System (Inficon IC-5)&N&T&I&S&다층막 증착을 위한 프로그램 업그레이드 및 2인치 돔에서 4인치 장착할 수 있는 돔 제작
다층막 공정에 대한 자동화 프로그램 입력 및 관련 툴에 대한 업그레이드
2,4인치 겸용 돔
4인치 돔 업그레이드
기존에 있는 돔은 2인치 웨이퍼 크기로 제작되어 있어 2인치 웨이퍼만 증착할 수가 있었다.
이러한 단점을 보강하기 위해 4인치 웨이퍼 크기로 돔을 제작하여 4인치 웨이퍼도
증착이 가능하게 업그레이드 하였다.