RIBER (프랑스)
X716-13-001
2년
부대장비(부가장치) (주장비:분자선에피성장장치)
기타
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2012-04-09
46,000,000원
기관의뢰 직접사용
고정형
일별
65,000원
- ZnO LED, 산화물반도체의 에피제작을 위해 구입한 장비임.
’- 산소 플라즈마를 사용하므로 기판 Heater의 노출로 인해 산화가 빠르게 되어 heater가 자주 끊어짐. 본 업그레이드는 기판 heater element의 노출을 방지한 막힌상태의 heater로 업그레이드 하는 것임.
’- MBE 장비는 프랑스 RIBER사의 제작품으로 기판 heater의 탈부착은 매니풀레이트와 미세하고 복잡한 연결로 되어 있어 현지 maker 엔지니어가 직접 장착하는 것이 타당함.1. O2 분위기에서 800℃까지 Heat up 가능
2. Heating Element가 Oxygen에 더 잘 보호가 될 수 있도록 노출이 안되는 구조로써 Heating element 상하에 cover plate를 설치하고 bottom cover plate는 구멍이 없는 구조
1. Oven(Substrate heater) for MBE(Compact 21EB)-4“ screening - Upto 800℃ Heating at oxygen atmosphere -Heating element(Ta or SiC), cover plates(PBN or others), and Ta Shield2. Thermocouple for Compact 21-Wre PSCT4 -C-type