진공종합상사
001
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2008-01-10
39,500,000원
고정형
시간별
20,000원
레이저 이용하여 박막 증착을 위한 진공 챔버 시스템
본 장비는 자동차부품연구원에서 보유하고 있는 로핀 레이저 시스템을 이용하여 박막 증착 및 코팅 등 각종 시험을 수행하기 위한 것으로서 챔버는 외부에 레이저가 투과 가능한 창을 가지고 있어야 한다. 또한 적절한 진공도가 유지 되어야 하며 진공도 및 센서가 부착되어야 한다.
진공 챔버는 Diode-Pumped Nd:YAG 레이저를 사용하여 다양한 레이저 증착 공정을 수행해야한다. 외부에서 레이저가 진공 챔버안으로 투과 될수 있도록 특별한 구성이 이루어 져야한다.
1) MAIN CHAMBER UNIT
2) SUBSTRATE SYSTEM (지그)
3)PUMPING SYSTEM
4)TURBO PUMP & CONTROLLER라이볼드361
1) MAIN CHAMBER UNIT
2) SUBSTRATE SYSTEM (지그)
3)PUMPING SYSTEM
4)TURBO PUMP & CONTROLLER라이볼드361