1. 플라즈마원 . 진동수 : 27.12 MHz, 가변 방식 . 최대 출력 : 1.6 KW R.F. . 조절 범위 : 750 - 1350W . 플라즈마 점화의 완전 자동조절 . 저항 조절 : 자동 조절 . 출력 안정도 : 0.1% 미만 . 전원 효율 : 78% 이상 . 플라즈마 관측방식 : Dual 방식 2. 시료주입시스템 . 분무기 : 구 모양의 흐름을 이용한 분무기 . 분무화 용기 : Cyclone 식의 분무화 용기 . 시료 펌프 : 컴퓨터 조절방식의 12롤러 4채널 연동펌프 (0-125rpm) . 토치 : 센터 튜브가 있는 분리 가능한 토치 . 가스 조절 - 분무가스 : 질량 조절 방식 (0 - 1.5L/min) - 보조가스 : 질량 조절 방식 (0 - 2L/min) - 플라즈마가스 : 질량 조절 방식 (0 - 20L/min, Agron) 3. 광학 시스템 . 방식 : Echelle 2차 분광 방식 . 72개 이상 원소에 대한 동시분석 . 횡방향 및 종방향 측정이 가능한 복합방식 . 초점거리 : 383mm . 분해능 : 200nm에서 0.0035nm . 파장범위 : 166 - 847nm . 회절발 - 홈수 : 52.19 grooves/mm - 각 : 63.5도 . 프리즘 : 9.5도