플라즈마트
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5년
주장비
교육
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2006-12-26
38,500,000원
고정형
기타
0원
○ Turbo molecular pump
- Pumping speed : 345 l/s (N2 기준)
- max. gas throughtput : 7.5 mbar l/sec
- N2 purge valve installed
○ Pressure readout
- High vaccum gauge : 3.8×10-10 t 750 Torr
○ Vaccum valve
- Pneumatic angle valve
○Automatic venting line
- Vaccum line°SUS hard tube
- SUS flexible bellows
[Control Unit]
○ Type
- PLC-based automation
장비영문명 : Turbo Pump interface
제작사 : 플라즈마트