1. 고 에너지의 전자빔이 시편의 표면을 주사할 때 전자와 시편의 상호작용에 의해 시편 표면으로 방출되는 전자들(backscattered electrons, secondary electrons, Auger electrons 등)과 X-ray를 모아 증폭시켜서 시료의 표면형태의 관찰 및 성분분석을 하는데 이를 측정하는 기기이다.2. FE-SEM/EDS만 있을 경우 한번에 sample의 정보를 얻을 수 있지만 농도가 3%까지만 가능하고 FE-SEM/WDS만 있을 경우는 각 원소마다 맞는 crystal을 선택해 분석하면 시간이 오래 걸리는 반면 정확도가 높아 낮은 ppm단위까지 분석이 가능하고 또한 중첩되는 peak까지 구분이 가능하다. 3. FE-SEM/EDS/WDS가 함께 있을 경우 EDS로 샘플에 대한 전체적인 정보를 얻고 WDS로 좀 더 정밀하게 sample 측정이 가능하고 micro sample의 특정분위(원하는 부위)를 관찰하며 정성 정량 분석이 가능하다.