ULVAC
SPW060C1
5년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 스퍼터
2012-10-22
3,258,001,345원
직접사용
고정형
일별
4,000,000원
1) 원리 및 특징
▷ 개념 : 롤 상태의 필름 웹이 정밀한 Tension제어를 통해 풀려지면서 열처리와 표면 전처리를 거치고, 프로세스쳄버에 진입
하여 메인드럼을 접촉하며 주행하면서 캐소드에 장착된 타겟물질이 기재의 표면에 스퍼터링 방식을 이용한 코팅이
이루어짐. 최종적으로는 리와인더에서 균일한 롤 상태로 감기게 됨.
▷ 특징
- 메인드럼에 다층의 물질을 올리기 위해 캐소드가 3 세트 이상 설치되어 있음.
- 언와인더 및 리와인더 쳄버가 프로세스쳄버와 독립적으로 운용됨.
2) 구성 및 성능
- 설비구성 : 언와인더/프로세스쳄버/진공유닛/리와인더/인라인모니터링/전기장치/구동부/소프트웨어 등
- 주요성능 : 클린룸 사용 적합한 디자인으로 분진발생이 적고, 캐소드 사이에 Crosstalk이 거의 없음. 와인딩 정밀도가
우수하고, 모듈 시스템으로 설비 보수 및 확장에 유리함.
3) 사용예
- 광학용 필름 코팅 및 소재 개발
- 플렉시블 디스플레이 기판용 필름 및 구조 개발
- 습식코팅 장비와 연계한 차세대 고품질의 코팅 기술 개발
- 컨소시엄 가입사를 중심으로한 국내기업의 건식코팅 신제품 개발 및 사업화 지원
4) 활용분야
- 광학용 필름 코팅 및 소재 개발
- 플렉시블 디스플레이 기판용 필름 및 구조 개발
- 습식코팅 장비와 연계한 차세대 고품질의 코팅 기술 개발
- 컨소시엄 가입사를 중심으로한 국내기업의 건식코팅 신제품 개발 및 사업화 지원
- 설비구성 : 언와인더/프로세스쳄버/진공유닛/리와인더/인라인모니터링/전기장치/구동부/소프트웨어 등
- 주요성능 : 클린룸 사용 적합한 디자인으로 분진발생이 적고, 캐소드 사이에 Crosstalk이 거의 없음. 와인딩 정밀도가
우수하고, 모듈 시스템으로 설비 보수 및 확장에 유리함.