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Eclipse
5년
주장비
분석
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2012-09-06
236,804,260원
고정형
원
- 본 장비는 도핑 공정 후의 불순물인 PSG와 후면 에미터 층을 동시에 제거할 수 있어 태양전지 제조 공정에서 edge isolation 공정을 대신할 수 있는 장비이다. - 후면 에미터 층을 제거함으로써 태양전지 효율향상에도 기여할 수 있음.또한 박형 웨이퍼의 edge isolation시 파손율을 낮출 수 있는 공정이다. - 크기 : 2660 ㎜ × 600 ㎜ × 1454 ㎜ approx. [LengthxWidthxHeight] - 장비 사양 ● 156×156 ±0.5 ㎜ square and pseudo square 실리콘 웨이퍼용 ● 기판이동속도 0.5 - 2.0 m/min ● 6인치 태양전지 웨이퍼를 위한 싱글 레인 시스템 ● 이송 방향에서 웨이퍼 간 간격 40 mm ● 배기관 연결, 냉각수, DI water, compressed air 라인 연결 ● 후면 emitter제거와 PSG 제거 ● 소재 : PP WHITE