인포비온
모델명 없음
4년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 성형/가공장비 > 달리 분류되지 않는 성형/가공장비
2012-09-03
59,950,000원
고정형
시간별
999,999원
1. Feature : 스퍼터링 타겟에 RF 및 DC power를 동시에 인가할 수 있는 sputtering gun이 장착된 증착장비.
RF 및 DC power를 동시에 인가하여 플라즈마를 제어함으로써, 증착속도 증가 및 박막의 품질 향상을 기대할 수 있음.
2. Specification :
① Main System
- Process chamber: sputter gun port 3 ea, ion gun port 1 ea, load-lock port 1ea, view port 1 ea (Top-down Deposition type)
- Sputtering gun: 2 inch RF-DC coupled type 2 ea (RF 및 DC power 동시 인가 가능한 형태)
- Power: RF power supply (≥ 300W, 13.56 MHz) 1 ea with auto-matching network and cable
DC power supply (≥ 1kW) 1 ea with cable
- Substrate: Rotation module, Heating module (~ 600℃) 및 controller
- Gas supply: Ar MFC and controller set 1 ea
- Pumping: Turbo molecular pump 1 ea, Rotary pump 1 ea
(base pressure: ~ 5x10-7 torr)
Pressure contol throttle valve (Auto 권장)
- Vacuum gauge: low, high vacuum gauge
- System control: PC based control unit (권장)
gauge, power, valve, emergency control