아이씨피
동기화 제어 시뮬레이터
5년
주장비
분석
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2012-08-31
84,500,000원
고정형
시간별
100,000원
- 고정밀 롤투피 인쇄 평가 시스템
- 롤 회전 메카니즘과 평판 직선 메카니즘으로 구성된 Sheet feeding 방식의 1도 R2P 인쇄기. 직선 메카니즘의 경우 Air-bearing과 Linear motor 구동을 통해서 속도 리플을 최소화하였으며, 회전 메카니즘은 DDR 모터 및 KIMM 자체 개발 회전 가이드를 채용하여 Run-out을 최소화 함. 위와 같은 메카니즘을 채용하여 자체적인 동기화 오차 요소를 최소화 하였으며, 추가 발생하는 동기화 오차는 공구동력계 등의 Force 센서를 통해 마찰력을 기반 계측 방법을 평가할 수 있으며, 동시에 이를 보상할 수 있는 정밀 미세 구동 메카니즘이 같이 구현되어 오차 보상 정도를 평가함.
- Direct drive 롤투피 인쇄시스템 (속도 리플 0.3%, 기판 사이즈 250X250mm)
Gravure offset 및 Reverse offset 인쇄 시스템
- 동기화 정밀 제어 및 계측 기능
- 정밀 인압 제어 기능
- UMAC 기반 실시간 제어 시스템
- 인쇄 공정 평가