정보없음
Lucida M100-L
5년
주장비
생산
기타 > >
2012-08-27
143,990,000원
고정형
원
[과제정보] 1. 과제명 : 차세대 태양전지 기술개발 2. 책임자 : 조준식 3. 당해년도 연구기간 : 2012.01.01-2012.12.31 4. 주관기관 : 한국에너지기술연구원 저가 대면적을 위한 플렉서블 박막 태양전지(CIGS 박막) 상부 투명 전극으로 활용되는 ZnO 박막의 증착을 위한 장비이며, 기존 박막 태양전지 기판으로 사용되는 유리를 대체하여 금속시트나 플라스틱 필름을 사용하여 모든 공정이 수행되기 때문에 가장 상부쪽에 증착되는 ZnO 투명 전도막 역시 저온 공정이 필수임. 다양한 반응성 가스(Ar, O2, N2, B2H6)를 이용하여 실리콘 기판위에 산화물 및 금속박막을 원자층 단위로 증착하는 원자층 박막 증착 시스템이고, 공정의 신뢰성과 편의성을 위해 1기의 프로세스 챔버 (Process chamber)와 1기의 로드락 챔버(Loadlock chamber)로 구성된 챔버부와 제어부 (Control panel)로 구성되어 있음. 기판크기 : 6인치 (두께: 0.5 ~ 1 mm), 기판종류 : 실리콘 웨이퍼, 기판온도 : Max. 350℃ (기판온도 기준)/Max. 500℃ (히터온도 기준)/PID제어방식, 균일도 ≤ ± 3℃ (기판온도 기준), 기판은 샤워헤드와의 gap이 조절되도록 구동되어야 함.(stepping motor 를 이용하여 1mm 단위로 조절, 조절 범위 (1~20mm이내)),증착막 균일도 : ≤ ± 5%, 막두께 30nm기준 (edge에서 5mm 제외) 기판온도 및 증착두께 균일도는 기판 상의 9point를 기준으로 측정, 진공도 : 5 × 10-3 torr이하 (펌핑 후 2시간뒤 체크시), Leak rate (He) < 5 × 10-8 torr*L/min @ dry pump, 진공펌프 : 드라이펌프(공정용), 로타리펌프(로드락용), 제어시스템 : 공정제어, PC를 이용한 수동 및 자동제어