(주)앤잿
NP-200
4년
주장비
생산
광학·전자 영상장비 > 광파발생/측정장비 > 달리 분류되지 않는 광파발생/측정장비
2012-08-23
45,100,000원
고정형
99,999원
장비용도
- Laser interparameter를 이용하여 위치오차값(Position error value)을 보정 테스크를 통하여 +-1.1um 이하의 위치정밀도 갖는 다이렉트 미세패턴용(투명전도막 형성) 정밀 구동스이테이지임.
구성
- X,Y axis(Linear motor) / Z axis (Servo motor)의 3축으로 구성되어 있음.
- 각 축당 1EA씩의 Servo-pack(motor driver)장착
- Substrate Module (미세패턴 대상물 위치용) 장착
- Ink supply Module 장착
- Nozzle / Vision Module 장착
- High Voltage Signal Module 장착
- 정밀 구동을 위한 석정반 취부
- 시스템 구동용 컴퓨터 / 구동 소프트웨어(Raster / Vector Printing)
- 기타 액세서리 (Nozzle fitting 용)