주) 아론
AL30
5년
부대장비(부가장치) (주장비:파일롯 필름스퍼터)
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 스퍼터
2012-08-23
135,000,000원
직접사용
고정형
시간별
4,000,000원
1. 스퍼터의 프로세스 챔버에서 발생하는 열을 적절한 온도로 냉각을 해주어야 정상적인 장비가동이 유지됨
2. 스퍼터 장비 가동에 필요한 유틸리티(온수, 냉수, 각종 가스) 등이 적절하게 공급되어야 건식코팅을 수행할 수 있음
1. 공랭식 콘덴싱 유니트 : 공랭식으로써 실외기를 별도로 설치하지 않은 일체형
2. 공기 압축기는 공랭식으로서 스퍼터뿐만 아니라 습식코터 등의 다른 파일롯트의 장비에도 활용 할수 있음