(주)써모텍
모델명 없음
4년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 열유체장비 > 오븐
2012-08-22
79,750,000원
고정형
시간별
999,999원
용도
- 치밀한 소결체 제작이 어려운 비산화물 및 기타 특수 재료의 제조에 필요한 설비
- 50mm 급 반도체 공정 장비 부품, 특수내화물 소재, 우주항공용 초고온 소재, 방탄재 등
관련 주요 제품 :
반도체디스플레이 산업용 장비의 세라믹 부품
우주 항공용 초고온 소재 부품
제철용 특수 내화물 소재
방위산업용 방탄 플레이트
<챔버>
1) 수냉 이중 재킷 형태 chamber
2) 재질 : SUS304
3) 전면 door 방식
4) 최대 소결체 크기 : 50 mm
<발열체 및 단열재>
1) 그라파이트 발열체
2) 수냉 전극봉 사용 및 수냉 케이블 사용
3) 단열재
- 재질 : 그라파이트 레디에이션 쉴드, 그라파이트 펠트
4) 승온속도 : 최대 실온 ~ 2,000℃까지 10℃/min 이내
<온도측정 및 가압>
1) Thermocouple + Pyrometer (동시온도측정 및 제어 가능)
2) Thermocouple : 상온 ~ 1700℃
3) 2 color pyrometer : 1000 ~ 2500℃
4) 가압방식 : 유압 자동방식 (stroke 최대 150 mm)
5) Load cell + weight indicator
<진공 및 가스>
1) 진공도 : 5×10-2 torr
2) 진공게이지 : 피라니 게이지 : 1x10-3 torr 대응, 아날로그 압력 게이지
3) 사용 분위기 : 진공, N2, Ar
<제어반 및 안전장치>
1) 온도제어 : 열전대와 pyrometer 자동전환제어, PID 연속제어
2) 압력제어 : 프로그램 제어, 온도제어와 연동
3) 주요 안전장치 : 알람 및 safety interlock