큐빅레이저시스템
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 달리 분류되지 않는 기계가공 시험장비 >
2012-08-02
37,400,000원
고정형
원
KrF excimer 레이저 빔을 평탄화하는 homogenizing optical system. 일반적인 레이저 빔은 중간 부분으로 갈수록 에너지가 집중되는 가우시안 분포를 가지기 때문에 박막에 조사하여 처리하기에는 매우 불리하다. 본 장비는 이러한 레이저 빔을 광학 기구를 이용하여 평탄한 레이저 빔 형상을 만들어 균일한 레이저 처리 및 조사가 가능하게 하는 광학 시스템이다.
Beam homogenizing optical system(Micro lens array, XY translating optical mount, Rotating stage, Lens holders and supporting mecnanics) Imaging lens assembly (lens holder and supporting mechanics)