썸백엔지니어링
모델명 없음
4년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 열유체장비 > 오븐
2012-06-28
289,300,000원
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
142,600원
고순화처리가 가능한 초고온 진공로
사용온도 : 최고 2500℃, 상용 2300℃
챔버 Working zone : 300 x 600 (L)/mm
발열체 : graphite heater (고순도) / 단열 : graphite felt (고순도)
Temperature control : PID control / programmable controller / 열전대, 2-color pyrometer
사용분위기 : 진공 (~ 5×10-3 Torr, dry pump 사용) / Ar, N2, HCl 혹은 Cl2 (Ball Flowmeter)
1. 챔버
1) 수냉 double wall 구조
2) 내식성 내부재질 : SUS316L, 내식성(Teflon) 표면처리
3) 크기 : Working zone 확보 가능한 설계치 제시
4) 전면 door 방식, 후면 maintenance door, door clamp
5) 내부관측 port, 열전대 port, pyrometer port
6) Gas in/out port, bypass port, 전극 port, spare port 등
2. 발열체 및 단열재
1) 발열체 : 고순도 graphite heater (금속불순물 25ppm 이하) 고순도 graphite muffle (금속불순물 25ppm 이하)
2) 단열재 : 고순도 graphite rigid felt (금속불순물 25ppm 이하)
- 단열재 외벽 온도 : 챔버 내벽 내식성코팅 사용가능온도까지
* 고순도 graphite 소재의 제조사 제공 성분성적서 첨부
3) Working zone : □ 300 x 600 (L)/mm
4) 승온속도 : 최대 10℃/min.