썸백엔지니어링
모델명 없음
4년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 열유체장비 > 오븐
2012-06-28
669,900,000원
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
256,310원
A. Feature :
- 본 3차원 탄화실리콘 화학증착/치밀화 시스템은 실리콘 탄화물 혹은 Pyrolytic carbon을 탄소 혹은 RBSC 소재 위 혹은 열린 기공에 증착하여 표면 개질 혹은 치밀화를 시키는 장비로써 최대직경 1200mm까지 증착할 수 있는 대구경 부품제조용 장치임.
- 피증착 소재 : SiC, C, RBSC(Reaction Bonded Silicon Carbide)
- 사용온도 : 최대 섭씨 2000도, 상용 1900도
- 최대직경 1200mm, 최대높이 600mm, 증착물의 중량 200kg
- 증착분위기 : 수소 혹은 알곤
- 사용가스 ①반응가스 : C3H8, SiCl4, H2 ② 캐리어가스 : H2, ③ 고순화가스 : Cl2, ④ 퍼지가스 : N2, ⑤ 밸런스가스 : Ar
- 압력범위 : 10 ~ 300 Torr
- 배기가스처리 : Heat/Wet scrubber system
- 진공도 : 1E-3Torr(base pressure), controllable up to 10 torr at 100 slm
- 샘플로딩 : Bottom door loading with rotating sample plate
- 시스템 조작 : PLC 조절, 터치패널, 스캐쥴과 압력/온도/유량의 자동 저장