에타맥스
PLATOM
10년
주장비
분석
기계가공·시험장비 > 재료물성시험장비 > 달리 분류되지 않는 재료물성시험장비
2012-06-27
143,000,000원
고정형
시간별
48,000원
반도체 측정 장치 및 반도체 측정 방법을 제공하는 것으로 에피층의 광 발광 및 두께를 측정하기 위한 장비이다.
Full Specification 300mm MonochromatorHigh speed r-θ stage supporting 2" to 6" wafers standardThickness Mapping : 0.1um ~ 100umLaser Scatter Surface MappingWafer Profile: Bow Simultaneous PL, Thickness, SRR mode