(주)테스
TESLAR200
5년
주장비
기타
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2012-06-26
464,992,000원
고정형
원
1.SiNx, Al2O3의 막을 형성하기 위한 플라즈마 형태로 분해시켜 막을 형성하기 위한 박막증착 시스템이다. 2.이 장치는 화학기상 증착장치로서 고주파화학증착방식으로 실리콘 태양전지개발 및 응용분야에서 사용된다. 3.플라즈마 화학기상 증착(Plasma enhanced chemical vapor deposition) 방식을 이용한 SiNx Chamber와 Al2O3 Chamber를 별도 구성하여 독립제어 되도록 설계하였다. 4. Single wafer Loading을 위한 TM Chamber와 Load lock Chamber가 독립적으로 구성되어있다. 5. 결정질 실리콘 태양전지 6인치 (156x156 mm2)용으로 설계되었으며 한 장씩 공정이 진행된다. 6. 결정질 실리콘 태양전지 제조 평가와 연구 목적으로 사용된다. (과제정보) -과제명 : 충청권 태양광 테스트베드 구축사업 -주관기관 : 충북테크노파크 -책임자 : 남중현 -기간 : 2011.08.01-2012.06.30
1.SiNx, Al2O3의 막을 형성하기 위한 플라즈마 형태로 분해시켜 막을 형성하기 위한 박막증착 시스템이다. 2.이 장치는 화학기상 증착장치로서 고주파화학증착방식으로 실리콘 태양전지개발 및 응용분야에서 사용된다. 3.플라즈마 화학기상 증착(Plasma enhanced chemical vapor deposition) 방식을 이용한 SiNx Chamber와 Al2O3 Chamber를 별도 구성하여 독립제어 되도록 설계하였다. 4. Single wafer Loading을 위한 TM Chamber와 Load lock Chamber가 독립적으로 구성되어있다. 5. 결정질 실리콘 태양전지 6인치 (156x156 mm2)용으로 설계되었으며 한 장씩 공정이 진행된다. 6. 결정질 실리콘 태양전지 제조 평가와 연구 목적으로 사용된다. (과제정보) -과제명 : 충청권 태양광 테스트베드 구축사업 -주관기관 : 충북테크노파크 -책임자 : 남중현 -기간 : 2011.08.01-2012.06.30