(주)에스앤텍
MCS-5000
10년
주장비
분석
기계가공·시험장비 > 달리 분류되지 않는 기계가공 시험장비 >
2012-06-26
123,000,000원
고정형
원
1. 품명/공급업체/수량
- MOCVD System/ ㈜에스엔텍/ 1set
2. 용도 설명
- 상기 MOCVD System(Metal Organic Chemical Vapor Deposition System)은 유기원료를 사용하여 기판 상에 박막을 합성하는 System입니다. 본 연구실은 상기 System을 이용하여 CNT(Carbon Nano Tube) 및 촉매를 동시에 합성하는 연구를 진행 하고자 합니다. 따라서, 본 System은 상기 연구를 진행하기 위한 필수적인 System이며, System의 높은 quality가 요구됩니다.
ㄱ. Max.1000 ℃ 균일한 온도 보장 가능
ㄴ. 원하는 정밀한 진공영역 유지 가능(1.0E-2 Torr)
ㄷ. 장비 폭이100cm로 현재 학보 공간인 110cm 폭에 적합함
ㄹ. 분무식의 원료가스 공급장치 구조
ㅁ. 박막공정 조건 제공 가능
Max.1000 ℃ 균일한 온도 보장 가능_x000D_
원하는 정밀한 진공영역 유지 가능(1.0E-2 Torr)_x000D_
장비 폭이100cm로 현재 학보 공간인 110cm 폭에 적합함_x000D_
분무식의 원료가스 공급장치 구조_x000D_
박막공정 조건 제공 가능