삼양세라텍
VHP-400T
4년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 열유체장비 > 오븐
2012-06-22
814,704,000원
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
329,160원
A. Feature
- 본 열간가압소결로는 산화물, 비산화물 원료의 치밀화를 유도하는 장비로서 최대 직경 500mm 이상 급 대형 난소결성 세라믹스 제품 개발 및 생산 지원을 목표로 함.
- 주요 소결 소재 : SiC, AlN, Y2O3 등 비산화물 및 산화물
- 사용온도 : 최고 2300oC, 상용 2100oC
- 최대소결체 직경 : 500 mm
- 가압하중 : 최대 400 ton, 상용 350 ton
- 가압방식 : 2축 가압, 상하 실린더 방식
- 사용분위기 : 진공, N2, Ar
- 열전대, 2 color pyrometer, programmable controller에 의한 온도제어
B. Specification
1. chamber
1) 수냉 이중 재킷 형태 chamber
2) 재질 : SUS304
3) 챔버내부공간 : Φ1200mmX1100mm(H)
4) 내부 관측 port, TC port, Pyrometer port
5) Gas in/out port, bypass port, 전극 port 등
6) 전면 door 방식
7) spare port : 5 개소
2. Heater 및 단열재
1) 그라파이트 발열체
2) 수냉 전극봉 사용 및 수냉 케이블 사용
3) 단열재
- 재질 : Graphite rigid felt 적층구조 100 mm(thickness) 이상
- 단열재지지 : 고강도 그라파이트 너트
- 단열재지지 및 Hot zone 보호용 shield 구조
4) 승온속도 : 최대 실온 ~ 1,000℃까지 10℃/min,
1,000℃~1,500℃까지 5℃/min,
1,500℃~2,000℃까지 3℃/min
(내경 300 mm 그라파이트 몰드 장착 후, 내용물 제거상태)
3. 진공
1) 진공도 : 상용 10-3torr
2) 진동도달시간 : 10-3torr 도달시간 40분이하
3) 진공펌프 : Rotary vane pump (4500 Liter/min),
Mechanical booster pump (1000 m3/h)
4) 진공게이지 : 디지털 게이지
마노메터 : 0 ~ 1000 torr
피라니 게이지 : 1x10-3 torr 대응
5) 진공밸브 : 메인벨브 : 16B,
서브 밸브 : 6B
진공배기 초기 소재 비산 방지용 저속 배기 밸브 포함
펌프의 오일 역류 방지 밸브
4. 프레임 및 가압공정
1) 최대 유압 하중 : 400 톤
2) 상용 유압 하중 : 350 톤
3) 프레임 : 원주 형태의 4축 자립형(or 용접 프레임 분리형 구조)
4) 가압방식 : 상하 2축 방식, 몰드지지 유압 및 도어부 별도
5) 실린더 ram 직경 및 스토로크 : 직경 250 mm 이상,
스트로크 100 mm 이상
6) 유압제어 : 상하 개별 실린더 압력제어
7) 압력센서 : zero balance < 1%, 정격출력 ±0.5%
8) 상하축 변위량 측정 : 각각 100 mm 이상, 분해능 1 mm 이내
9) 몰드위치 측정 및 support : 유압을 이용한 지지 및 변위제어
10) 안전: 설정압 경보 장치
5. Gas
1) 사용 가스 : N2, Ar
2) 유량조절 : Flowmeter, Digital pressure s/w
3) Pressure gauge, 1/3 psi check valve
4) Flowmeter : 10 liter/min
5) bypass line
6) 안전 배기 valve 설계 : 비상시 2중 배기
7) 가스 배관 : sus304
6. 온도 측정
1) 온도 측정 및 control 방식 : 열전대 및 Pyrometer 자동 교차식
2) 열전대 : Mo sheathed type (C-type), K-type (장비 운전 보호용)
3) Pyrometer : 일본 Chino사의 동등 또는 이상 2 -color pyrometer
4) 온도 controller : UP550(Main) 와 동등 이상
5) 사용자 지정온도에서 열전대 In/Out 방식 (공압 사용)
7. 제어반
1) 터치스크린 방식 제어 : 윈도우 베이스 및 PLC 제어
2) 운용제어 보안 : 각 사용자별 독자적인 인증절차 필요(Max.10)
타 사용자 공정 파라메터 접근 차단
3) 온도제어 : 열전대와 pyrometer 자동전환제어
PID제어(2 color pyrometer 필수)
4) 압력제어 : 프로그램 제어, 온도제어와 연동
5) 가스제어 : 온도제어와 연동
6) 기록 : 온도, 압력, 가스 등 제어 및 측정 파라메터 디지털제어 및
USB 저장
비상상황을 대비한 아날로그 기록장치 추가
(Paper Type Recorder, 12Ch)
7) 비상상황에 대비한 lock 설정 및 안전상황 설정
8. 예비 성형기
1) press방식 : 유압
2) 최대압력 : 100 ton
9. 제품 이송기구
수동형 자주식 Lift 방식
10. 그라파이트 몰드
1) 소결체 기준 내경 300mm, 두께 100 mm 가능 그라파이트 몰드 1 set
2) 최대 하중 130 ton
11. 안전장치
1) 과승온 경보
2) 가스압 저하 경보 (N2, Ar)
3) Vacuum pump 이상
4) 냉각수압 저하 경보
5) 초기 진공도 이상
6) 챔버 내부압 이상
12. Spare part 및 도구
1) 보수 유지용 발열체 및 소모 부품 3 part