오에프티
OMA-1200
8년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비
2012-06-15
170,000,000원
기관의뢰
고정형
건별
50,000원
Metal 및 절연막 식각에 필요한 PR의 Align 및 Exposure
Substrate Size: 200mm × 200mm Glass (Thickness:0.5 ~1.2mm)Light Source Module : 365nm Max Intensity : >20mw/㎠- 해상도 : Vacuum Contact : 1㎛