Zygo Corporation
New View 700s
10년
주장비
계측
광학·전자 영상장비 > 광파발생/측정장비 > 달리 분류되지 않는 광파발생/측정장비
2012-06-11
140,109,110원
기관의뢰
고정형
건별
100,000원
ㅇ고출력 DPSS 레이저용 표면연마된 광학부품에 대한 표면조도 측정
ㅇ산업용 레이저 beam delivery 모듈용 정밀 광학부품에 대한 표면 형상 측정
ㅇ위상변환식(Phase shift) 및 스캔식(Scanning) 측정방식 선택 혼용 가능&N&T&I&S&- Non-contact and three-dimensional and scanning white-light interferometer
- White-light LED design with superior life, uniform imaging and high efficiency
- Closed-loop piezo-based, with highly linear capacitive sensors
- Vertical scan range: 150μm
- Vertical resolution: < 0.1 nm
- Data scan rate: ≤ 15μm/sec
- Maximum data points: 307,200(VGA)
- RMS repeatability: < 0.01nm RMS
- Step height : accuracy ≤ 0.75%, repeatability ≤ 0.1% @ 1σ&N&T&I&S&ㅇ마이크로응용 정밀가공용 자외선대역 DPSS 레이저에 대한 표면조도 성능 향상으로 산란손실 저감 및 레이저 손상문턱치 향상
ㅇ링레이저 자이로의 핵심 부품인 초저손실(Low loss) 미러에 대한 산란손실성능 극소화
ㅇ회절광학부품(DOE)에 대한 패턴 정밀도 측정
ㅇ위상변환식(Phase shift) 및 스캔식(Scanning) 측정방식 선택 혼용 가능&N&T&I&S&- Non-contact and three-dimensional and scanning white-light interferometer
- White-light LED design with superior life, uniform imaging and high efficiency
- Closed-loop piezo-based, with highly linear capacitive sensors
- Vertical scan range: 150μm
- Vertical resolution: < 0.1 nm
- Data scan rate: ≤ 15μm/sec
- Maximum data points: 307,200(VGA)
- RMS repeatability: < 0.01nm RMS
- Step height : accuracy ≤ 0.75%, repeatability ≤ 0.1% @ 1σ&N&T&I&S&