Veeco
K465i GaN MOCVD System
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2012-06-01
1,883,850,031원
기관의뢰
고정형
시간별
550,000원
유기 금속가스를 가열한 기판상에 열분해 시켜 반도체 박막을 성장시키는 장치
- Precursor로 금속 유기 화합물을 이용하여Chamber안에서 가열된 기판 표면에 증기압이 높은 금속 유기 화합물 증기를 보내어 원하는 박막을 성장시킴
● 제작사: Veeco
● 모델명: K465i GaN MOCVD
● Dimension: 12,800lbs:5.7t(weight)
H:215(248)*L:550*W:152cm
● Power: 3P5W,380VAC,350A/1p,60Hz,
15kw(idle),125kw(peak power)
● Capa(장)/회: 45(2inch), 12(4inch), 5(6inch)
● Temperature Control: Current/Pyro
● Heat Assy’: Tungsten middle +
Rhenium inner/outer
● Hardware: Reactor Housing Assembly
Transfer Housing Assembly
Laminar Flow Assembly
Process Exhaust Assembly
In-situ monitoring
● Software: Nexus IOC, PMPlex, CTCPlex
Data logger / Data Viewer
Operation S/W